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受旅游限制,ASML延迟向中国客户交付EVU光刻机

  4月1日消息,有媒体报道,中国厂商向ASML订购的先进光刻机一而再的被阻碍,ASML对外表示:受到疫情的影响,公司提供给武汉以及其他地区客户的EUV设备出货,均受到了影响,同时公司的供应链出现了问题,目前已经解决。

受旅游限制,ASML延迟向中国客户交付EVU光刻机

  向ASML订购EUV光刻机的中国芯片厂商应该就是中芯国际,早在1月份与去年11月份,ASML就因为延迟出货而被质疑。

  今年1月份,ASML CEO对外表示,已经向荷兰政府提交了中国客户出货的申请,但一直在审批。同时在去年11月份,有媒体报道,受到了美国的压力ASML将暂停向中芯国际供货。

受旅游限制,ASML延迟向中国客户交付EVU光刻机

  追溯这条新闻,结果发现中芯国际是在2018年中旬向ASML订购的这台EUV光刻机,价格为1.2亿美元,预计在2019年底交付,2020年正式安装,但如今ASML始终没有交付。

  据了解,中芯国际的7nm以下制程将使用ASML供应的这台EUV光刻机,目前中芯14nm已经进入量产,12nm也已经有了重大突破。

受旅游限制,ASML延迟向中国客户交付EVU光刻机

  本文编辑:NJNR102

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